中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥230027;
中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥230027;
中国科学院微电子研究所,北京100029;
中国科学院微电子研究所,北京100029;
中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥230027;
中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,安徽合肥230027;
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