铈掺杂对CVD金刚石薄膜结构的影响

刘学杰; 诸葛晨昱; 王宇晨

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铈掺杂对CVD金刚石薄膜结构的影响

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研究中以醋酸铈为前驱体,采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)工艺制备了Ce掺杂的CVD金刚石薄膜.采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和拉曼检测,系统地研究了Ce掺杂对金刚石膜的形貌和微观结构的影响.扫描电镜(SEM)检测结果揭示了Ce掺杂可以使薄膜表面生长更多的微米金刚石方晶.X射线衍射(XRD)检测结果表明:Ce的加入可以改变金刚石薄膜中晶粒的择优取向.拉曼(Raman)检测结果显示:当Ce掺杂的通量为0,30,45,60 sccm时,对薄膜中金刚石峰的半高宽值分别为10,18,13,9.研究结果表明:适当的Ce掺杂可以提高薄膜中金刚石的结晶质量.

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来源
《内蒙古科技大学学报》|2020年第3期|279-284|共6页
作者
刘学杰; 诸葛晨昱; 王宇晨;
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作者单位

内蒙古科技大学机械工程学院内蒙古包头 014010;

内蒙古科技大学机械工程学院内蒙古包头 014010;

内蒙古科技大学机械工程学院内蒙古包头 014010;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类人造超硬度材料的生产;
关键词
Ce掺杂金刚石薄膜; 微波等离子气相沉积; 微结构; 择优取向; 结晶质量;

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