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CVD反应器内基座倾斜时流场的有限分析方法数值计算

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本文用有限分析方法，对带有倾斜基座的ＣＶＤ反应器内流场进行了数值计算，结果表明，有限分析方法对于小倾解角的非矩形边界的解域也是适用的。

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来源
《吉林大学学报（理学版）》 |1993年第4期|42-48|共7页
作者
郭庆尧;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
化学汽相淀积; 数值模拟; 流场;

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