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含纳米硅粒氧化硅薄膜的光致发光和光吸收研究

     

摘要

采用磁控共溅射法制备了含纳米硅粒尺寸不同的氧化硅薄膜.对各种样品测量了光致发光谱, 其发光峰位位于655~665nm.通过对样品所作的光吸收测量,确定出了样品中纳米硅粒的光学带隙,并发现光致发光峰位随光学带隙的增加有微小红移.

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