微型可编程衍射光栅的特性分析

俞静峰; 苑伟政; 乔大勇; 姜澄宇

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微型可编程衍射光栅的特性分析

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研究了基于微型光机电系统(MOEMS)的微型可编程衍射光栅.利用波动光学理论推导了在编程状态下它的光强分布公式,对可编程光栅每个衍射单元包含的微梁数和其中的微梁高度等参数变化对其衍射特性的影响进行分析,并对其衍射特性进行仿真验证.验证结果表明:光栅衍射单元包含的微梁数会对衍射光的各个主极大空间位置产生影响,而微梁高度的变化则会引起各衍射主极大之间的光强能量重新分布.

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来源
《西北工业大学学报》 |2006年第1期|76-79|共4页
作者
俞静峰; 苑伟政; 乔大勇; 姜澄宇;
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作者单位

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

西北工业大学,微/纳米系统实验室,陕西,西安,710072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类物理光学仪器;
关键词
微型光机电系统(MOEMS); 可编程衍射光栅; 仿真;

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