超光滑光学基片表面激光清洗机理与技术

徐传义; 史兴宽

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超光滑光学基片表面激光清洗机理与技术

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分析了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片表面应用中的难点和可行性,并利用Nd:YAG脉冲激光器对超光滑光学玻璃表面进行了激光清洗实验,实验结果表明了激光清洗技术在清洗超光滑光学基片方面非常有效.在此基础上建立了激光清洗的热学模型,结合气泡成长动力学和流体力学理论,分析了超光滑光学基片表面激光清洗的机理,量化了作用于杂质微粒上的去除力.

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来源
《西北工业大学学报》 |2002年第1期|128-131|共4页
作者
徐传义; 史兴宽;
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作者单位

西北工业大学,飞行器制造工程系,陕西,西安,710072;

西北工业大学,飞行器制造工程系,陕西,西安,710072;

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正文语种 chi
中图分类光学;激光的应用;
关键词
超光滑光学基片; 激光清洗; 清洗机理;

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