硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感

杨晨; 刘锋; 任天令; 刘理天; 冯海刚; 王自惠; 龙海波; 于军

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硅基CoZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感

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制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成“SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈”的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1·75nH、品质因数(Q)为18·5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%.

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来源
《半导体学报》 |2005年第11期|2208-2212|共5页
作者
杨晨; 刘锋; 任天令; 刘理天; 冯海刚; 王自惠; 龙海波; 于军;
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作者单位

清华大学微电子学研究所;

华中科技大学电子科学与技术系;

伊利诺理工学院电气与计算机工程系;

清华大学电子工程系;

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正文语种 chi
中图分类应用;
关键词
CoZrO铁氧体; 磁膜结构; 射频集成;

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