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MEMS电容传感器小电容的测量

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摘要

本文首先介绍了一种MEMS电容式微硅加速度计的结构和等效电路,阐述了开关电容放大器的工作原理和输出电压与电容的关系,重点讨论了用开关电容技术测量微硅加速度计小电容的方法.

著录项

来源
《测试技术学报》 |2004年第z3期|12-14|共3页
作者
莫邦燹; 倪学文; 项斌; 朱晖; 宁宝俊; 张广勤;
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作者单位

北京大学微电子研究院,北京,100871;

北京大学微电子研究院,北京,100871;

北京大学微电子研究院,北京,100871;

北京大学微电子研究院,北京,100871;

北京大学微电子研究院,北京,100871;

北京大学微电子研究院,北京,100871;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动化技术及设备;
关键词
MEMS电容传感器; 微硅加速度计; 开关电容放大器; 电容测量;

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