沉积偏压对2024铝合金表面类金刚石薄膜结构及性能的影响

邓洪运; 陈东旭; 王亚男; 周艳文

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沉积偏压对2024铝合金表面类金刚石薄膜结构及性能的影响

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cqvip:利用等离子体增强化学气相沉积技术,在2024铝合金表面制备类金刚石(DLC)薄膜,以改善铝合金表面机械性能。利用拉曼光谱及红外光谱,对不同沉积偏压下制备DLC薄膜的成分及结构进行表征;利用摩擦磨损试验机、纳米压痕仪及台阶仪等,分别对不同沉积偏压下制备DLC薄膜的耐磨性、硬度、弹性模量及薄膜厚度进行检测,并探讨了沉积偏压对薄膜结构及性能的影响规律及影响机制。研究表明:随着沉积偏压增大(1800~2600 V),薄膜厚度、硬度及弹性模量均先增大后减小。当沉积偏压为2400 V时,DLC薄膜厚度最厚,硬度及弹性模量最高。当沉积偏压为2600 V时,薄膜的H/(Ef)最高,并且摩擦系数从基体的0.492降低至0.0958。

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来源
《辽宁科技大学学报》 |2020年第1期|10-15|共6页
作者
邓洪运; 陈东旭; 王亚男; 周艳文;
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作者单位

辽宁科技大学材料与冶金学院辽宁鞍山 114051;

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正文语种 chi
中图分类金属表面防护技术;
关键词
2024铝合金; 类金刚石薄膜; 耐磨性能; 等离子体增强化学气相沉积; 拉曼光谱;

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