基于金刚石的GaN基微波功率器件研究进展

李金平1; 王琨2

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基于金刚石的GaN基微波功率器件研究进展

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金刚石在目前所知的天然物质中具有最高的热导率,在高频、大功率GaN基高电子迁移率晶体管（HEMT）和电路的散热方面极有应用潜力。综述化学气相沉积多晶金刚石衬底的衬底转移技术、单晶金刚石衬底的直接外延技术和纳米金刚石表面覆膜的器件工艺技术在GaN基HEMT器件中的应用研究和发展历程,并分析每种技术的优缺点。

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来源
《西安邮电大学学报》 |2016年第3期|P.25-31|共7页
作者
李金平1; 王琨2;
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作者单位

[1]国防科工局协作配套中心,北京100081;

[2]中科院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京100083;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类微波半导体器件;
关键词
金刚石; 氮化镓; 微波器件; 高热导率;

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