一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置

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申请(专利)号:CN201922368735.0,公开(公告)日:2020-11-24,申请(专权)人:中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司,摘要:本实用新型公开了一种6N级高纯四氟化硅自动化纯化装置,属于气体纯化技术领域。所述装置包括:吸附塔、除轻塔、除重塔、气体检测器、信号接收及反馈装置、控制器,循环管路、充装气动阀门、循环气动阀门、充装钢瓶和原料钢瓶。

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来源
《低温与特气》 |2020年第6期|46-46|共1页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类中国工业经济;
关键词
四氟化硅; 气动阀门; 气体检测器; 实用新型; 循环管路; 特种气体; 反馈装置; 气体纯化;

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