激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用

机译：激光加工技术在制造设备等制造工艺中的应用，需求不断增长

机译：用于MEMS应用的可紫​​外微图案化的导电聚苯胺光致抗蚀剂共混物的微细加工和表征

机译：MEMS的面内兼容SU8结构的制造和研究及其在微阀和微夹持器中的应用

机译：MEMS / MOEMS应用的微细加工技术的发展

机译：毫米波雷达微细加工技术及其在隐蔽物体检测中的应用

机译：使用混合飞秒激光微细加工制造的电流体设备可控地对准3D微空间中的细长微生物

机译：使用微细加工技术制造高质量的微纤维

机译：微细加工技术在热电能转换中的应用。 1980年11月1日至1981年1月31日第6号进展报告

机译：采用Mems技术制造的同心电极和螺旋微流通道介电泳微细胞色谱仪。

机译：3维模具的制造方法，微细加工产品的制造方法，微图案成型的制造方法，3维模具，微细加工产品，微图案成型和光学器件的制造

机译：结合激光和微细加工技术的探针制备