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直线电动机在半导体设备上的应用

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摘要

在电子产品的快速淘汰、更新,生命周期短暂的市场形态下,半导体制造设备必须快速大量产出、快速更换制造模组及元件,才能不断地快速推出新产品,以满足市场需求。

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来源
《现代制造》 |2003年第1期|74-75|共2页
作者
黄东雍;
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作者单位

大银微系统股份有限公司;

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正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;直线电机;
关键词
直线电动机; 半导体设备; 电子产品;

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