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磁场应用在硅晶体生长过程中的研究进展

         

摘要

论述了磁场技术应用于硅晶体生长中的基本概况,探讨了磁场影响硅晶体生长的机制,重点阐述了各种磁场的分类、基本原理及其在硅晶体生长的应用,并归纳总结了国内外磁场应用于硅晶体生长中的研究现状.另外,对硅晶体生长中杂质的分凝行为和数值模拟作了简要介绍,并展望了磁场应用于硅晶体生长的发展前景.

著录项

  • 来源
    《材料导报》 |2013年第13期|15-19|共5页
  • 作者单位

    新余学院新能源科学与工程学院,新余338004;

    新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;

    新余学院新能源科学与工程学院,新余338004;

    新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;

    新余学院新能源科学与工程学院,新余338004;

    新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;

    新余学院新能源科学与工程学院,新余338004;

    新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;

    新余学院新能源科学与工程学院,新余338004;

    新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;

    新余学院江西省高等学校硅材料重点实验室,新余338004;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 太阳能电池;
  • 关键词

    多晶硅; 磁场; 杂质; 分凝行为; 数值模拟;

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