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NiFe/Cu多层膜的热处理研究

         

摘要

针对用磁控溅射方法制备的NiFe/Cu多层膜进行了热处理研究,经退火后,NiFe/Cu多层膜的磁电阻有了显著的变化,在250℃的最佳退火下,最大磁电阻变化率为5.2%。

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