化学腐蚀工艺对锗单晶片机械强度的影响

吕菲; 田原; 宋晶; 杨春颖; 刘雪松

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化学腐蚀工艺对锗单晶片机械强度的影响

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锗单晶的机械强度受单晶生长方式和加工工艺等多因素的影响。在衬底片的加工过程中,晶片的强度随加工工艺变化。切割和磨削后的锗单晶片强度都很低,经过化学腐蚀后强度大幅提高,因此化学腐蚀成为影响锗单晶片机械强度的关键工艺。本工作研究了化学腐蚀液的组分、温度、腐蚀方式等对锗抛光片机械强度的影响,有效提高了锗抛光片的机械强度。

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来源
《材料导报》 |2019年第s02期|428-430|共3页
作者
吕菲; 田原; 宋晶; 杨春颖; 刘雪松;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
锗单晶片; 化学腐蚀; 机械强度; 粗糙度;

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