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钮市伟; 陈瑶; 王永光; 寇青明; 朱玉广;
苏州大学机电工程学院 苏州215000;
GaN; 化学机械抛光; 材料去除率; 表面粗糙度; 正交法;
机译:商业化氮化镓晶片在整个晶片表面上实现了低缺陷密度
机译:加速批处理和单晶片方法的新发展加强下一代工艺的解决方案:批处理醛,单晶片等离子氮化设备,单晶片灰化设备有助于销售
机译:N型氮化镓的光电化学机械抛光方法
机译:氮化镓的化学机械抛光机理:量子化学分子动力学模拟
机译:砷化镓-氮化镓晶片融合和n-铝砷化镓/ p-砷化镓/ n-氮化镓双异质结双极晶体管。
机译:光电效应加速了砷化镓晶片上的电化学腐蚀和纳米压印工艺
机译:基于铝和氮化镓在硅碳化硅衬底上生长铝和氮化镓氮化镓的复合材料的介电和热电性能
机译:镓熔体生长块状氮化镓锭的新工艺。
机译:氮化镓晶体,氮化镓晶体基质的生长方法,环氧晶片的生产工艺和环氧晶片
机译:氮化镓基半导体发光器件,制造氮化镓基半导体发光器件的方法,氮化镓基发光二极管,外延晶片以及制造氮化镓基发光二极管的方法
机译:氮化镓半导体发光元件,制造氮化镓半导体发光元件的方法,氮化镓发光二极管,外延晶片以及制造氮化镓半导体发光二极管的方法
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