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用电诱导液相外延法制备铝组分稳定的高铝值镓铝砷外延层

         

摘要

本文对用于制造高效率半导体发光器件的材料-Ga1-xAlxAs(x=0.75)外延层沿生长方向上铝组分的分布进行了详细讨论。采用电液相外延法能获得铝组分高度稳定的Ga1-xAlxAs外延层,并用电流诱导效应作了初步理论解释。

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