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微机械角速度传感器信号分析与处理

         

摘要

介绍了一种新型微机械角速度传感器的工作原理,详细分析了该传感器的干扰成分,提出了消除干扰力矩影响的信号处理方法。设计了静电力反馈控制方案,并进行了计算机仿真,证明该方法具有实用性。

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