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基于ANSYS的新型三维微力传感器的设计

         

摘要

设计一种基于双孔平行梁式的三维微力传感器,采用H型孔对平行梁弹性体局部削弱,运用ANSYS分析软件对弹性体进行结构静力学分析和模态分析,并利用后处理器中路径映射技术确定具体的贴片位置,为传感器的进一步优化设计与应用奠定了基础.

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