音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究

丁鹏翔; 章文; 陈丽娟; 程真英; 黄强先

首页> 中文期刊> 《计测技术》 >音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究

音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

音叉光纤一体式三维谐振测头是一种应用于微纳米三坐标测量机的新型测头,由石音音叉与光纤测杆测球组成.为了保持测头的振动稳定性与测量准确性,测杆的长度被限制在1 mm以内,导致其测量较大深宽比微结构的能力受限.为了在保障测头测量性能的同时,进一步提高测头的测量能力,对测头进行了优化改良,并进行了性能测试实验.

著录项

来源
《计测技术》 |2019年第2期|18-21|共4页
作者
丁鹏翔; 章文; 陈丽娟; 程真英; 黄强先;
展开▼
作者单位

合肥工业大学;

安徽合肥230009;

合肥工业大学;

安徽合肥230009;

合肥工业大学;

安徽合肥230009;

合肥工业大学;

安徽合肥230009;

合肥工业大学;

安徽合肥230009;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
谐振测头; 石英音叉; 测头优化; 测杆长度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于石英音叉谐振测头的喷油嘴微锥孔测量 [J] . 章文 ,黄强先 ,李振阳 . 工具技术 . 2020,第10期
2. 石英音叉三维谐振触发定位系统 [J] . 余惠娟 ,黄强先 ,李志渤 . 仪器仪表学报 . 2013,第10期
3. 光纤环形谐振腔Q值与谐振深度优化研究 [J] . 谌浩然 ,张瑶 ,薛晨阳 . 光通信技术 . 2018,第001期
4. 基于PVDF的三维纳米谐振触发测头及定位系统 [J] . 李志渤 ,黄强先 ,史科迪 . 机械工程学报 . 2015,第2期
5. 光纤光栅在三维测头中的应用 [J] . 丁邦宙 ,费业泰 ,倪向红 . 合肥工业大学学报（自然科学版） . 2011,第008期
6. 磁致/伸缩/压电/三梁谐振音叉复合磁场传感器 [C] . Li Ming ,李铭 ,Bian Leixiang . 第十四届全国敏感元件与传感器学术会议 . 2016
7. 基于石英音叉谐振测头系统的微结构测量实验与研究 [A] . 章文 . 2020

音叉光纤一体式三维谐振测头优化研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅