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基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法

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摘要

本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，在X、Y方向上的振动方向与试样表面平行，在靠近试样所在一侧的音叉臂上，固定设置一体式微测杆测球，以锁相环路输出的正弦交流信号施加于压电驱动器作为励振信号，通过压电传感器检测音叉谐振信号。当微小的三维外力导致测头的谐振频率发生变化时，谐振石英音叉测头的谐振频率随之发生变化，通过检测石英音叉的谐振频率的变化，实现三维谐振触发测头的三维谐振触发定位。

著录项

  • 公开/公告号CN102506701B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-10-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥工业大学;

    申请/专利号CN201110311619.0

  • 发明设计人 黄强先;王毛翠;张昔峰;黄帅;赵剑;王广红;

    申请日2011-10-14

  • 分类号

  • 代理机构安徽省合肥新安专利代理有限责任公司;

  • 代理人何梅生

  • 地址 230009 安徽省合肥市屯溪路193号

  • 入库时间 2022-08-23 09:21:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-10-08

    授权

    授权

  • 2012-07-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/34 申请日:20111014

    实质审查的生效

  • 2012-06-20

    公开

    公开

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