用高频电容法测量P／P外延层电阻率

聂海谱

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用高频电容法测量P／P外延层电阻率

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高频电容法是测量P／P^+外延层电阻率的一种简单易行的新方法。这种方法，直接利用同质均匀掺杂外延层电阻率ρ与空间电荷电容Cs（势垒电容）平万的倒数关系，通过测量势垒电容Cs，直接得到P／P^+外延层的电阻率ρ。从而实现对P／P^+外延片的生产第艺过程，进行监控测试。这种方法，不但测试过程简单，而且，不损伤外延层。它既可以在国外仪器上完成，又可以在国内仪器上完成，适用于我国一般IC单位。在国外仪器上，测量范围为2．20×10^(－4)Ω·cm～1．95×10~5Ω·cm，测量误差为±0．02％：在国内仪器上，电阻率测量范围为1．0×10^(－3)Ω·cm～1．0×10~5Ω·cm，测量误差为±2％。

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来源
《微电子技术》 |1994年第1期|61-64|共4页
作者
聂海谱;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类测量和检验;
关键词
高频电容法; 测量; 外延层; 电阻率;

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