采用激光制备毛细管电泳芯片微结构的研究

刘莹; 姚李英; 刘世炳; 吴坚; 陈涛

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采用激光制备毛细管电泳芯片微结构的研究

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提出了一种采用248 nm准分子激光直写微加工系统制备聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基毛细管电泳芯片的新方法.主要对毛细管电泳芯片的样品池和微通道进行了实验研究.在19 kV,20 Hz,500个脉冲条件下,厚度为1.5 mm PMMA表面获得直径为1 mm、锥度为4.7 °的池;对宽度均为100 μm,深度不同的微通道底面进行了键合前后比较.最后在键合后宽度为100 μm、深度为30 μm的芯片上成功地完成了进样实验.

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来源
《微细加工技术》 |2007年第3期|23-26|共4页
作者
刘莹; 姚李英; 刘世炳; 吴坚; 陈涛;
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作者单位

北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

北京工业大学,激光工程研究院,北京,100022;

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正文语种 chi
中图分类激光技术、微波激射技术;半导体技术;
关键词
毛细管电泳芯片; 微加工; 准分子激光; 聚合物;

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