磁控溅射和热氧化法制备ZnO纳米颗粒

石礼伟; 李玲; 薛成山

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磁控溅射和热氧化法制备ZnO纳米颗粒

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利用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌/二氧化硅基质(Zn/SiO2)复合薄膜.在空气中600℃退火60 min,从SiO2基质中析出的金属Zn被空气中O2氧化生成了ZnO纳米颗粒,并形成了SiO2多孔网络结构.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)对样品的组成、结构、表面形貌及发光特性进行了分析.结果表明,生成的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,呈近椭圆形,平均尺寸在65 nm左右.在280 nm光激发下,有较强的370 nm近带边激子跃迁紫外光发射和峰位在460 nm处较弱的蓝色发光.

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来源
《微细加工技术》 |2004年第3期|29-32|共4页
作者
石礼伟; 李玲; 薛成山;
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作者单位

山东师范大学,物理与电子科学学院,半导体研究所,济南,250014;

山东师范大学,物理与电子科学学院,半导体研究所,济南,250014;

山东师范大学,物理与电子科学学院,半导体研究所,济南,250014;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
磁控溅射; ZnO; 纳米颗粒; SiO2; 多孔网络;

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