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EBES—40A型电子束曝光机的软件开发

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摘要

本文简要会介绍了一种圆形电子束曝光机应用软件的结构，工作原理及工作过程；并且根据作者长期应用这套软件的具体情况，对使用该软件过程是同到的一些具体问题和解决方法作了详细的说明。此外，对自行编制的软件也作了介绍。

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来源
《微细加工技术》 |1997年第2期|6-13|共8页
作者
梁俊仪; 薛虹;
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作者单位

中科院电工所;

中科院电工所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光刻、掩膜;
关键词
电子束曝光机; 系统软件; 软件开发;

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