国产TFT—LCD设备崭露头角

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TFT—LCD设备由于其工艺性要求高、制造难度大，一直被国外少数公司垄断。近年来由于我国设备厂商技术水平的不断提升，相继研制生产出部分LCD制造设备及测试仪器。测试仪器以高校和研究所为主，如清华大学、长春物理所都开发生产了如液晶盒厚测量仪、液晶光电参数测试仪等测试设备；制造设备从最初的玻璃切割机、偏光片切割机、灌晶机等单台设备，发展到可以生产成套的TN用清洗等前段设备和对摩擦线、板线等要求更高的设备。

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《现代电子技术》 |2007年第13期|45-45|共1页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
制造设备; LCD; TFT; 露头; 国产; 电参数测试仪; 测试仪器; 清华大学;

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