基于MEMS技术的催化燃烧气体传感器

马丽; 宋宏斌; 王磊; 杨梅

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基于MEMS技术的催化燃烧气体传感器

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在石油、化工企业,以及地下燃气管道、加油站等地方,容易存在可燃气体泄露的隐患.传统的方法是用催化燃烧气敏元件来检测可燃气体的泄露,随着智能物联网的发展,越来越多的研究者研究MEMS可燃气体传感器.MEMS可燃气体传感器是采用微机械加工技术制造出来的新型传感器.与传统传感器相比,它不但具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、稳定性好、适于批量化生产、易于集成等特点,而且实现了智能化、多功能化.

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来源
《现代信息科技》|2018年第10期|179-181|共3页
作者
马丽; 宋宏斌; 王磊; 杨梅;
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作者单位

济南市长清计算机应用公司,山东济南 250306;

济南市长清计算机应用公司,山东济南 250306;

济南市长清计算机应用公司,山东济南 250306;

济南市长清计算机应用公司,山东济南 250306;

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正文语种 chi
中图分类 TP150.99;
关键词
催化燃烧; MEMS; 传感器;

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