基于MEMS技术的气体传感器

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• 来源
  《传感器与微系统》 |2008年第11期|5-7|共3页
• 作者

  李珂; 于世洁; 尤政; 赵嘉昊;

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• 作者单位

  清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室,北京,100084;

  清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室,北京,100084;

  清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室,北京,100084;

  清华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室,北京,100084;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 TP212.2;
• 关键词

  微机电系统; 气体传感器; 技术;