超精密飞刀切削加工表面中频微波纹产生机理

安晨辉; 王健; 张飞虎; 许乔; 陈东菊

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超精密飞刀切削加工表面中频微波纹产生机理

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超精密飞刀切削是一种重要的超精密加工手段,安装大飞刀盘的超精密铣床能够加工大口径超精密光学元件,加工表面具有很高的面形精度和很低的表面粗糙度值.但是加工表面普遍存在中频微波纹(空间周期从100μm到300μm,幅值低于0.1μm),极大影响了光学元件的使用.超精密铣床的主轴旋转精度对加工工件影响很大,尤其是主轴轴线偏转会使安装在大飞刀盘外缘处的刀具产生很大位移.为此,建立了适用于空气静压轴承支撑的立式主轴角位移欧拉动力学方程,推导出方程解析解,得出主轴运动规律及其对表面中频微波纹的影响,并设计实验进行验证.最终给出了抑制中频微波纹的工程措施.

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来源
《纳米技术与精密工程（英文）》 |2010年第5期|439-446|共8页
作者
安晨辉; 王健; 张飞虎; 许乔; 陈东菊;
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作者单位

哈尔滨工业大学机电工程学院;

成都精密光学工程研究中心;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类静压轴承;
关键词
中频微波纹; 欧拉动力学方程; 三维形貌仿真;

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