使用SPM的纳米级加工技术新进展

袁哲俊

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扫描探针显微镜 (SPM )现在不仅用于表面微观形貌的检测 ,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵 .该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法 :针尖直接雕刻 ,针尖光刻加工 ,局部阳极氧化 ,原子沉积形成纳米点 ,原子去除形成沟槽微结构 ,多针尖加工 ,原子自组装形成三维结构等 .使用SPM的纳米级加工对发展微型机械。

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来源
《纳米技术与精密工程（英文）》 |2004年第1期|45-49|共5页
作者
袁哲俊;
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作者单位

哈尔滨工业大学机电工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械制造工艺;
关键词
扫描探针显微镜; 纳米级加工; 原子操纵; SPM; 超精密加工;

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