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扫描隧道显微镜电压脉冲法加工产生纳米结构的研究

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采用扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）电压脉冲法，在大气环境中进行了纳米级超微加工的实验研究，分别用钨探针和镀金钨探针，以高定向热解石墨（ＨＯＰＧ）和金薄膜为样品，通过在ＳＴＭ探针和样品之间施加一定的电压脉冲，制造出了尺度在纳米量级的结构，对形成的结构特征进行了分析，并总结了部分实验规律。

著录项

来源
《自然科学进展》 |1999年第4期|320|共1页
作者
刘安伟; 吉贵军;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
扫描隧道显微镜; 纳米加工; 电压脉冲法; 纳变结构;

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