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静电梳驱动RF MEMS滤波器动力学分析

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摘要

静电梳驱动硅微机械滤波器在RF通信领域有重要应用.从振动力学的角度,对硅微机械滤波器的力电耦合动态特性进行分析.分析结果表明:硅微机械滤波器输出电压V0(t)与梳状振子振动速度成正比.谐振状态下,静电力包含直流分量和倍频分量.直流偏置电压Vp可消除系统倍频振动,为后续检测电路设计提供便利.

著录项

来源
《噪声与振动控制》 |2007年第6期|134-135|共2页
作者
孙玉国;
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作者单位

上海理工大学,光学与电子信息学院,精密仪器研究所,上海,200093;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN731;
关键词
振动与波; 机械滤波器; 偏置电压; 微机电系统;

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