100级超净车间空调噪声的综合治理

章奎生; 朱薇维

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一、概况上海贝岭微电子有限公司100级超净车间面积为218m^2,相邻空调机房面积为150m^2,净高为5.7m,机房内安装三台日本新晃AC-100型空调机组[每台风量80000m^3/h、全压58mmH_2O、转速950r/min、声功率级97.5dB(A)],机房与超净车间一墙之隔,而下部回风口全部直接连通。

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来源
《噪声与振动控制》 |1990年第3期|10|共1页
作者
章奎生; 朱薇维;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TU834.36;
关键词
100级; 洁净车间; 空调; 噪声; 治理;

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