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大型真空装置漏放率的动态质谱测量法

         

摘要

根据质谱分析技术和气体动力学方程,提出了一种用质谱测量法对大型真空装置漏放率的测试方法.结合计算机技术能对装置运行状态的漏放率进行巡回检测,并成功地应用于HL-1M装置.

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