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PDSOI CMOS SRAM总剂量辐射及退火效应的研究

         

摘要

通过对PDSOI CMOS静态随机存储器(SRAM)在静态偏置条件下器件功耗电流和功能错误数随辐射总剂量、退火时间的变化规律,以及不同温度(25℃和100℃)条件的退火行为进行研究,探讨了SOI工艺SRAM的总剂量辐射损伤机制及辐照环境中功耗电流变化与器件功能之间的相关性,为进一步深入研究大规模SOI集成电路的抗总剂量辐射加固及星用器件的辐射损伤评估提供途径和方法.

著录项

  • 来源
    《核技术》 |2011年第6期|452-456|共5页
  • 作者单位

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

    中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐830011;

    新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐830011;

    中国科学院研究生院,北京100049;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 射线与物质的相互作用;线性集成电路、模拟集成电路;
  • 关键词

    PDSOI; SRAM; 总剂量效应; 功耗电流; 退火效应;

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