等离子浸没离子注入陡脉冲前后沿效应及控制技术

著录项

• 来源
  《核技术》 |2010年第12期|923-927|共5页
• 作者

  朱宗涛; 桂刚; 汪志键; 巩春志; 杨士勤; 田修波;

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• 作者单位

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

  哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨,150001;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 真空镀与气相镀法;
• 关键词

  等离子体离子注入; 高压脉冲电源; 陡脉冲; 注入均匀性;