多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究

张立超

首页> 中文期刊> 《光机电信息》 >多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究

多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标.为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬底的槽形不发生变化.针对极紫外波段所采用的矩形光栅衬底,对其镀膜过程中的槽形变化进行了考察.结果表明,多层膜周期数对保持光栅槽形至关重要.对于槽深在2～5 nm的极浅槽深矩形光栅,为确保光栅槽形不发生变化,必须选择合适的多层膜周期数.按照这一原则制备的多层膜矩形光栅,在14.65 nm处-1级衍射效率实测结果为22.1%,超过了国内外同类实验结果的最高报道值.

著录项

来源
《光机电信息》 |2011年第7期|16-20|共5页
作者
张立超;
展开▼
作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
极紫外; 多层膜光栅; 光栅槽形;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 软X射线波段多层膜-多层膜光栅单色器 [J] . 崔宏滨 ,刘文汉 ,高琛 . 核技术 . 2001,第007期
2. 弧形刻刀的主刃半径对中阶梯光栅槽形的影响研究 [J] . 倪坤 ,史国权 ,石广丰 . 现代制造工程 . 2011,第001期
3. 利用ToF-SIMS和Rf-GDOES深度剖析技术研究柔性衬底上的隔热多层膜 [J] . 吕凯1 ,周刚1 ,余云鹏1 . 材料科学 . 2019,第001期
4. 磁控溅射CrN／Si3N4纳米多层膜衬底温度与力学性能的关系 [J] . 白晓明 . 纳米科技 . 2017,第001期
5. FTO玻璃衬底上锆钛酸铅多层膜的微结构与光学特性 [J] . 张婷 ,胡古今 ,商景林 . 红外与毫米波学报 . 2010,第003期
6. 衬底表面处理及沉积参数对燃烧焰法沉积金刚石膜成核密度的影响 [C] . 相炳坤 . 第四届全国固体薄膜学术会议 . 1994
7. 多层介质膜光栅掩模槽形的控制与检测 [A] . 万华 . 2005

多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅