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MEMS封装和微组装技术面临的挑战

         

摘要

@@ 1引言rn经过近10年的发展,MEMS(微电机械系统)已从最初的实验探索阶段发展到具有广泛应用的可行技术.在商品消费市场上,MEMS封装和MEMS器件制造业已取得了重大的发展.

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