白光测量方法进入亚微米范围

大舟

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白光测量方法进入亚微米范围

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非接触式距离测量是按照新的测量方法和用新测量设备进行的一种高效测量技术。在已知的光学测量方法中,激光器作为光源,发挥了决定性的作用。所提到的几种方法,不论是否涉及三角测量,CD—扫描或来回移动的透镜,为了进行距离测量,从更准确的角度来说,都存在不可克服的物理极限.下面介绍的测量方法采用白光,扩大上大部分上述极限.测量原理将卤素灯的白光输入0.05mm的光纤,然后通过平行光管装置聚焦在所测量的物体上.

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来源
《光机电信息》 |1998年第3期|19-20|共2页
作者
大舟;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类技术测量方法;
关键词
光学测量; 激光; 亚微米;

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