用激光光刻法制备大直径衍射元件

常唯

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现在,绝大多数光学系统依靠反射或折射元件来实现某些功能。有资料表明,衍射光学元件(DOE’s)在特定应用中具有某些优点。有各种制备DOE’s的技术,如金刚石切削技术可以把各种红外材料、金属或塑料制成衍射表面。还有一种金刚石工具可用来直接在衬底材料上切削出衍射表面的凸凹纹。金刚石切削一般用在反射金属表面或红外材料(如锗)上。也有可能用金刚石加工应用于注模塑料法中的母版元件。金刚石切削技术能制备具有高衍射效率的衍射表面。用该技术获得最佳衍射效率的关键在于如何将金刚石工具顶端雕刻成所希望的形状。这一技术的主要缺点是加工工具成本过高。

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来源
《光机电信息》 |1998年第10期|25-28|共4页
作者
常唯;
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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类 TH740.6;
关键词
激光; 光刻机; 衍射元件; 光学系统;

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