利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望

杨妹清

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利用准分子激光器进行微细加工的现状及展望

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由于激光经射束聚焦可获得极高的能量,故广泛地用于各种加工.其中,准分子激光器与其它波长较长的激光器(如二氧化碳激光器、YAG激光器)相比,被认为最适于微细加工,其特点:①被加工物为高分子材料时,采用以烧蚀现象为主的加工工艺.②因属短波段,故分辨率非常高,可实施100μm以下的打孔.③采用干刻加工工艺,可使前后工序简单化.采用准分子激光器进行微细加工、尤其是近来对印刷电路板的打孔加工引起人们的关注.以往采用钻孔加工。

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来源
《光机电信息》 |1996年第8期|21-23|共3页
作者
杨妹清;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类光能加工设备及其加工;
关键词
准分子激光器; 微细加工; 发展;

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