准分子激光器

摘要： 采用反激升压电路与双向半桥驱动电路级联构成双级驱动电路,研制了一种纳秒级、高功率准分子激光器驱动系统.反激升压电路工作在DCM的条件下,保证输出稳定高压.双向半桥驱动电路采用输出电压信号与理想波形查找表比较,控制高低边开关产生控制脉冲,能够输出准分子激光器的任意驱动信号.通过软件仿真,分析了反激升压电路的励磁电感、开关频率、输出功率和驱动电压等工作条件对系统损耗的影响,并获得优化结果.实验表明,最窄驱动脉冲宽度为15 ns,峰值驱动电压为1000 V,脉冲上升/下降时间约为5 ns,峰值能量转换效率为68.5％,该驱动系统在实际应用中可行.

摘要： 为了实现激光器脉冲输出后的电网尖峰电流谐波抑制的目的,采用一种适用于脉冲功率应用下的有源功率因数校正的方法,进行了理论分析和实验验证.结果表明,其工作频率75kHz、输出电压380V、输出电压纹波低于2％、校正后的总谐波含量降低至10％、功率因数达到98％;有源功率因数校正技术实现了脉冲功率应用下的功率因数校正,有效地提高了能量转移效率和改善输出脉冲能量的稳定性.该研究有助于提高激光器的性能,满足其在科研、医疗邻域的应用需求.

摘要： 利用准分子激光器在普通单模光纤上加工微孔,制作了一种微孔结构型的光纤Fabry-Perot(FP)腔,并对该微孔型光纤FP腔的温度特性进行了理论和实验研究.研究表明,当外界环境温度变化时,FP腔腔长和腔中介质的折射率会发生变化,致使传感器输出光谱发生漂移.通过观测光谱对应的峰值或谷值的漂移量,即可实现对环境温度的传感检测.实验结果发现,随着温度的升高,波长逐渐向短波方向方发生漂移,且波长的漂移量温度变化呈线性关系,其对应的温度灵敏度和线性度分别为-0.152 nm/°C和98.8％.该微孔结构型光纤F-P腔温度传感器具有结构简单、成本低廉、实用性好等优点,可以适应不同温度的需要,研究结果可为该种器件在传感中的应用提供一定参考.

摘要： 针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%,调节时间减少51%.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。

摘要： 韩国基础科学研究所的研究人员与韩国科学技术院的一个团队一起发现了一种利用单晶碳化硅（SiC）激光诱导固相分离的石墨烯合成机制。他们的研究阐明了这种激光技术如何将复杂的化合物（SiC）分离到其超薄元素中。使用高分辨率显微镜图像和分子动力学模拟，科学家发现30ns的氯化氙准分子激光器的单脉冲照射使SiC熔化，分离出液体SiC层、

摘要： 248nm的KrF准分子激光器在光刻、科研等领域有重要的应用.研制了一台用于刻写光纤布拉格光栅的准分子激光器,设计并完善激光器的机械结构,分析了激光器的均匀放电、预电离等关键技术.通过研究充电电压、工作气体配比和总的工作气体压力对输出激光能量和效率的影响,优化激光器的性能;并对光斑均匀性、光束发散角和能量稳定性进行了测试和计算.该准分子激光器的重复频率为1～50 Hz,最高输出效率达2.0％,单脉冲输出能量最高达360 mJ,当工作电压不低于24 kV时,激光输出能量不稳定度小于1.8％.用该激光器作为光源采用静态相位掩模法在光纤内刻写布拉格光栅,并对刻写结果进行分析和讨论.

摘要： 日本Gigaphoton公司开发出了用于制造平板显示器（FPD）的极小激光退火工序用准分子激光器“GIGANEX”系列，并将其配备在日本V-Technology公司的极小激光退火装置上，供大尺寸液晶屏制造企业用于LTPS（低温多晶硅）TFT（薄膜晶体管）液晶面板制造。

摘要： 在过去几年的工作中,在国内外已有研究工作的基础上结合本实验室工作,针对天光一号MOPA系统,考虑了24种粒子、120种反应通道,建立了最基本的零维、一维数值模拟程序,对电子束泵浦的KrF准分子激光器的反应动力学过程进行了研究;通过该模型,得到KrF激光放大过程中以下方面的信息:增益区内某一位置、某一时刻的上能级粒子数分布情况;KrF激光脉冲在增益区内传输到不同位置时的能量变化情况;经过放大器放大后输出脉冲的波形、能量等;根据动力学反

摘要： 时光荏苒,白驹过隙,转眼间"北京工业大学激光工程研究院"已经成立15年了。万千感慨中,德高望重的学院创始人左铁钏教授曾经说过的一句话跃然眼前:"科学研究的目的只有一个,就是为人类造福,它是最不功利但也是最有意义的事情。"左铁钏教授正是将激光作为毕生的事业,白手起家,从无到有,带领团队使激光工程研究院一路成长、发展、壮大。所有的坚持与艰辛,勤奋与努力,成功与挫折,欢笑与泪水……都值得我们铭记。一、搭建激光技术科研平台1992年,左先生婉言谢绝了德方的挽留。

摘要： 设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等。系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2°C;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定,因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境。

摘要： 多通道轨道开关技术是降低脉冲功率器件抖动的有效途径之一.本文介绍了该开关的结构、原理和主要实验结果以及在放电泵浦XeCl准分子激光器上的应用.实验表明,该开关使用干燥空气绝缘优于高纯氮气绝缘,前者可使抖动达到±11ns,满足了激光器同步的需要.

摘要： 近年来,单矿物的微区原位同位素测试发展迅速,为探讨精细的地质过程提供了可靠的数据支持.天津地质调查中心实验室开展了单矿物微区原位Sr、Nd同位素测试,获得了一批可靠的同位素数据.本文报道了本实验室利用193nm准分子激光器和多接收等离子体质谱仪(Neptune)联用,对几个磷灰石标准物质的Sr、Nd同位素测试情况,结果在误差范围内与前人文献报道值一致.

摘要： 近年来,单矿物的微区原位同位素测试发展迅速,为探讨精细的地质过程提供了可靠的数据支持.天津地质调查中心实验室开展了单矿物微区原位U-Pb、Sr、Nd同位素测试,获得了一批可靠的同位素数据.本文报道了本实验室利用193nm准分子激光器和多接收等离子体质谱仪(Neptune)联用,对几个磷灰石标准物质的U-Pb、Sr、Nd同位素测试情况,结果在误差范围内与前人文献报道值一致.本文单矿物U-Pb、Sr、Nd同位素分析的样品制备方法与锆石U-Pb、Lu-Hf同位素测试的制备方法相同,有关仪器设备已在相关文献中进行了介绍.本实验室磷灰石U-Pb同位素定年已公开发表,本摘要重点介绍Sr、Nd同位素测试方法.实验过程采用的MC-ICPMS杯结构设置见表1.

摘要： 准分子激光基于其大能量、高功率、紫外波段输出的特性,在工业、医疗、科研和国防领域都有着很好应用价值.作为传统的气体激光器,准分子激光器在传统工业领域的应用方兴未艾,继续占据着激光加工领域不可忽视的份额,而准分子激光器在新兴光电子信息领域的应用也出现了快速增长的势头.rn 首先总结了放电泵浦的准分子激光特性及其在传统工业领域和新兴光电子信息产业中的应用前景。分别分析和介绍了准分子激光在半导体集成电路光刻、液晶显示器薄膜晶体管的低温退火、LED制备工艺中的激光剥离技术、高温超导带材激光沉积制备、高密度电路板和光纤布拉格光栅刻蚀等领域的应用现状和发展预测。rn 着重介绍了光刻用准分子激光光源及其电源系统的特性和最新技术成果。给出了光刻光源的电源和控制系统及模块的设计方案和实验结果分析。分别介绍了光刻光源的全固态电源和高精度同步控制模块的实验和结果。rn 介绍和分析了液晶显示器薄膜晶体管低温退火的技术优势和市场前景。讨论了该系统的初步设计方案。

摘要： 本文首先简单介绍了小型准分子激光特点及应用,然后重点阐述了自行研制的小型准分子激光器的设计思想和方法以及相关激光性能实验研究,并对所得到的实验结果进行了分析和讨论。

摘要： 对光栅谐振腔实现线宽压窄的工作原理进行了分析,介绍了采用光栅谐振腔的长脉冲XeCl准分子激光器实验系统,实验获得了100mJ,0.5cm-1,1.4XDL的激光输出。

摘要： 本文介绍了高温、高焓气体流动中,激光诱导荧光技术的应用情况;我们采用ArF准分子激光器作为激发淘汰来激励氧分子Schumann-Runge带系193.3nm附近的转动吸收谱线,用紫外光电倍增管探测该带系256nm附近的荧光信号,建立了ArF准分子激光器氧分子激光诱导荧光(LIF)流场测试系统.实验获得了LIF静态空气和氧氩混合电弧射流动态的氧分子Schumann-Runge带系的荧光信号测量结果,结果表明:我们已成功地建立起了一套ArF准分子激光器氧分子的LIF技术流场测试系统.

摘要： 采用波长248nm的KrF准分子激光器,对AlO陶瓷片及玻璃片的精密加工进行了研究,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律.同时研究了激光工艺参数对材料表面粗糙度的影响,并且对加工后工件的表面形貌进行了分析.

摘要： 激光表面合金化技术是材料表面局部改性处理的新方法,是未来应用潜力最大的表面改性技术之一.激光诱导液相化学沉积不但可以在各种基材上直接沉积金属,而且工艺简单,沉积速度快,沉积金属局域性好,沉积金属致密,表面质量较高,但镀液稳定性控制要求严格.用准分子激光或其他调整Q激光作精修工具,可大大提高激光加工的价值.两种或两种以上的不同类型的能量可相互组合形成新的复合加工,综合加工效果明显.

摘要： 激光表面合金化技术是材料表面局部改性处理的新方法,是未来应用潜力最大的表面改性技术之一.激光诱导液相化学沉积不但可以在各种基材上直接沉积金属,而且工艺简单,沉积速度快,沉积金属局域性好,沉积金属致密,表面质量较高,但镀液稳定性控制要求严格.用准分子激光或其他调整Q激光作精修工具,可大大提高激光加工的价值.两种或两种以上的不同类型的能量可相互组合形成新的复合加工,综合加工效果明显.

摘要： 本发明公开一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及准分子激光器，所述控制方法包括：根据设定放电电压值产生高压脉冲；通过所述高压脉冲电击放电腔内设的工作气体，产生激光脉冲；检测所述激光脉冲的能量值，并输出所述激光脉冲；基于所述能量值利用PI算法计算对所述放电电压值进行调节；以及利用PSO算法确定所述PI算法中的比例参数及积分参数。本发明所述准分子激光脉冲能量稳定性控制方法利用PSO算法确定所述PI算法中的比例参数及积分参数，实现PI参数自适应处理，在PI算法的基础上增强了算法的鲁棒性和有效性，使算法对出光脉冲的调节更加精准，能量和剂量的精度都得到了更好的控制。

摘要： 本发明公开了一种准分子激光器剂量精度控制方法及系统。该方法至少包括如下步骤：S3：判断脉冲位置是否大于预设值n，如果小于等于则进入S4；如果大于则进入S5；S4：进行单脉冲能量稳定性控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vi j,用于控制放电腔；然后进入S6；S5：进行剂量精度控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vi j，用于控制放电腔；然后进入S6；S6：基于当前放电电压Vi j调整放电腔的放电电压。本发明能够抑制单脉冲能量和剂量引起的波动，保证激光器工作过程中的剂量精度要求。

摘要： 本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一种准分子激光器放电腔的窗片结构，包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。本发明中双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置，且各光学窗片接近布儒斯特角设置可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

摘要： 本发明公开一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及准分子激光器，所述控制方法包括：根据设定放电电压值产生高压脉冲；通过所述高压脉冲电击放电腔内设的工作气体，产生激光脉冲；检测所述激光脉冲的能量值，并输出所述激光脉冲；基于所述能量值利用PI算法计算对所述放电电压值进行调节；以及利用PSO算法确定所述PI算法中的比例参数及积分参数。本发明所述准分子激光脉冲能量稳定性控制方法利用PSO算法确定所述PI算法中的比例参数及积分参数，实现PI参数自适应处理，在PI算法的基础上增强了算法的鲁棒性和有效性，使算法对出光脉冲的调节更加精准，能量和剂量的精度都得到了更好的控制。

摘要： 本发明提供的准分子激光器电极结构及准分子激光器，可以通过阳极高度的精确调节来抵消激光器长期工作后因阳极消耗而导致放电间距增大的问题，从而保证放电区间不产生改变。支持受损阳极的反复维修，在保证激光器输出性能一致的前提下，大大提高的阳极的使用寿命，节约了激光器的运行成本，并且阳极高度是可调的，因此可以精确控制电极间距，可以适用于不同注入能量的电源，通过调整阳极的高度，获得不同的放电体积，使激光器工作在准分子激光器最佳注入功率密度的条件下，从而获得更高效率的激光输出。同样，本发明可以用于研究准分子激光器的最佳功率密度，以及确认准分子激光器最佳电极间距的研究。

摘要： 本发明涉及准分子激光器振荡设备,其具有激光室,用于存储包括至少一种选自Kr、Ar、Ne、F

摘要： 本发明公开了一种激光器脉冲供电电源和相应的准分子激光器。该脉冲供电电源包括第一供电模块、第二供电模块、快速响应模块、高压模块、第一储能电容、第二储能电容、电流采样模块、第一电压采样模块和第二电压采样模块。本发明在现有技术的基础上添加快速响应模块，利用该快速响应模块根据实时采集相关反馈电流和电压，调节第一储能电容上的电压，解决现有激光器脉冲供电电源脉冲放电过程存在高压模块响应慢的问题，保证在脉冲负载的脉冲放电过程中激光器脉冲供电电源输出的电压平稳不掉压。

摘要： 本实用新型提供的准分子激光器电极结构包括阳极、阴极、用于支撑阳极的导电支撑结构、用于支撑阴极的绝缘件、腔壁、绝缘件设置在腔壁上，阴极和阳极相对设置，阴极与腔壁具有绝缘间隔，导电支撑结构与腔壁电性连接，阳极具有安装座，安装座与导电支撑结构采用面面贴合的方式连接，通过面面之间相对滑动调整安装座与导电支撑结构之间的位置，进而完成阳极和阴极之间的间隙距离。通过阳极高度的精确调节来抵消激光器长期工作后因阳极消耗而导致放电间距增大的问题，从而保证放电区间不产生改变。支持受损阳极的反复维修，在保证激光器输出性能一致的前提下，大大提高阳极的使用寿命，节约了激光器的运行成本。

摘要： 本申请公开一种准分子激光器的透镜固定载具，其包括内套件、外套件、第一密封圈和第二密封圈；其中，所述外套件的内壁具有定位凸台，所述内套件套设在所述外套件之内，所述内套件的头端与所述定位凸台之间形成容纳透镜的空间，所述第一密封圈用于密封设置在所述透镜的一侧面与所述内套件的头端之间，所述第二密封圈用于密封设置在所述透镜的另一侧面与所述定位凸台之间，所述内套件用于向所述第一密封圈施加压紧力，以固定所述透镜于所述定位凸台上。本申请还公开一种准分子激光器。上述方案能解决目前的透镜固定载具在紧固透镜的过程中容易划伤透镜的问题。

摘要： 本申请实施例提供一种准分子激光器出光同步信号的电路、装置及激光器。在本申请实施例中，光电转换电路包括运算放大器；光电二极管的一端与光电转换电路中的初始运算放大器连接，光电转换电路中的末端运算放大器与一级的单稳态触发器的输入端连接；一级的单稳态触发器的输出端与二级的单稳态触发器的输入端连接，一级的单稳态触发器与二级的单稳态触发器的时间设置端均设置有对应的预置外围电路，提供对应时间的信号，以使二级的单稳态触发器的输出端最终输出满足预置传输时间范围的预置波形宽度的电压信号。由此可以通过输出满足预置传输时间范围的预置波形宽度的电压信号，使得光刻机可以在较短时间内接收到该信号，提高了且保证了实时性。