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利用YAG准分子激光器进行微孔加工的现状

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@@ 需要微孔加工的应用领域很多,诸如材料方面有金属、高分子材料、硅片、陶瓷等;加工上分机械加工、电火花加工、蚀刻加工、激光加工、喷射加工等,根据材料或加工尺寸、形状而使用不同的加工方法.

著录项

来源
《光机电信息》 |2001年第5期|17-19|共3页
作者
小平;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光能加工设备及其加工;
关键词
微孔加工; 激光加工; YAG激光器; 准分子激光器;

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