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超微细加工技术的动向

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摘要

随着微细加工技术的发展,可制作直径为几千微米的齿轮之类的结构部件或者将其组合成亚毫米尺寸的执行元件以及传感器,并且正在实现将其系统化的微机械.要实现微机械,不仅需要传统的机械结构材料。

著录项

来源
《光机电信息》 |1995年第7期|4-7|共4页
作者
高晓萍;
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作者单位

无;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类晶体机械加工;
关键词
超微细加工; 三维微细加工; 微机械; 半导体制造;

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