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格兰达“晶圆激光标刻机”IC技术

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cqvip:2005年，我国消耗芯片（IC）约占全球1754亿美元的20％份额，首次超过美国和日本，成为全球第1大IC消费市场。长期从事技术装备研发和制造的格兰达科技集团，自行研发的“晶圆激光标刻机”等一系列IC核心装备技术，在国际上占据了领先地位，为我国装备业的发展走出了一条科技创新之路。

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来源
《光机电信息》 |2007年第6期|P.62|共1页
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正文语种 chi
中图分类光刻、掩膜;
关键词
激光标刻机; IC技术; 晶圆; 技术装备; 科技创新; 消费市场; 装备技术;

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