基底温度对YbF3薄膜缺陷和光学性能影响研究

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• 来源
  《光学仪器》 |2006年第1期|93-96|共4页
• 作者

  张耀平; 张云洞; 凌宁; 许鸿;

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• 作者单位

  中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209;

  中国科学院研究生院,北京,100039;

  中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209;

  中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209;

  中国科学院,光电技术研究所,四川,成都,610209;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 薄膜的生长、结构和外延;
• 关键词

  YbF3薄膜; 表面粗糙度; 缺陷密度; 光学薄膜;