亚四分之一波长宽波段多层膜的设计

著录项

• 来源
  《光学仪器》 |2006年第4期|5-8|共4页
• 作者

  李存霞; 朱京涛; 王风丽; 张众; 王洪昌; 王占山; 陈玲燕;

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• 作者单位

  同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

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  同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 X射线、紫外线、红外线;薄膜技术;
• 关键词

  亚四分之一波长; 多层膜; 极紫外; 宽波段; 高反射率;