利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度

沈正祥; 王占山; 马彬; 徐敬; 陈玲燕

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利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度

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光学表面的表面粗糙度通常利用两个传统参数方根粗糙度σ和相关长度l来进行表征.主要就如何引入功率谱密度函数(PSD)表征表面微观形貌进行了初步研究.说明了一维和二维功率谱密度(PSD)函数的数学计算方法、 PSD函数的物理意义,同时给出了PSD函数与传统的表面评价指标σ和l之间的关系.利用不同仪器对多种样品进行测试,在分析比较测试结果的基础上,总结了利用PSD函数评价光学表面粗糙度的优点.功率谱密度函数作为一个全面的光学表面评价参数,正得到越来越广泛的重视和应用.

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来源
《光学仪器》 |2006年第4期|141-145|共5页
作者
沈正祥; 王占山; 马彬; 徐敬; 陈玲燕;
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作者单位

同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

同济大学精密光学工程技术研究所,物理系,上海,200092;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 X射线、紫外线、红外线;薄膜技术;
关键词
光学基底; 表面粗糙度; 均方根值; 功率谱密度;

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