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等离子辅助成膜技术

         

摘要

等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量控制光学膜的技术,报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标,用这个源制造的TiO2膜工艺与成膜质量,以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。

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